国内首台高效率单晶硅拉制炉“祝融1号”首次拉制成功
2022-08-28 来源:安徽省科技厅
近日,安徽联效科技有限公司自主研发集成的国内首台拥有核心知识产权的可拉制300mm-450mm的高效率单晶硅拉制炉“祝融1号”,首次拉制便一举成功。拉制的大尺寸单晶硅棒主体直径达385mm(15-16英寸)、长度1.2m(行业水准0.67m)、拉制速度0.55mm/min(市场平均速度0.27mm/min)、单晶率100%、纯度达11个9,还有碳氧含量及电阻率等所有参数均满足下游采购要求,这也是目前国内公开报道的该标准首根单晶硅棒。
联效科技是一家主要从事大尺寸半导体级单晶硅产品研发、制造的中外合作高科技企业,技术团队源自国际合作项目技术人员。自2018年起,公司开始致力于大尺寸单晶拉制炉的设计及研发,历时四年的自主研发攻关,成功突破了磁控直拉法(MCZ)单晶硅拉制炉统设备的关键核心技术——超导磁体和热区的设计和研制,且拉制炉能耗大幅降低至240kW以内,最终实现“祝融1号”成功亮相,为公司励志成为全球先进的大尺寸半导体级单晶硅棒研发生产企业打下了坚实基础。
责编:孙书文
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