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合肥造大宽幅晶硅叠层钙钛矿蒸镀机成功出货

2025-06-23 来源：合肥在线作者：李后祥

近日，合肥欣奕华智能机器股份有限公司（以下简称“欣奕华智”）自主研发的大宽幅线源共蒸钙钛矿晶硅叠层蒸镀机正式搬入行业头部客户产线，标志着我国在钙钛矿太阳能电池核心装备领域实现重大技术突破。该设备攻克了钙钛矿“干法”工艺中的镀膜均匀性、稳定性及自动化集成三大行业难题，为晶硅 - 钙钛矿叠层电池GW级量产奠定了坚实基础。

钙钛矿晶硅叠层蒸镀机是叠层电池“干法”工艺的核心设备，作用在于将钙钛矿吸光层材料以原子级精度均匀沉积于硅基板表面，形成高效吸光薄膜，其先进性与可靠性直接决定了太阳能电池的性能与质量。而传统工艺难以解决的硅片表面微米级绒毛全覆盖问题，是制约叠层电池良率提升的关键瓶颈。

此次欣奕华智所出货的这款设备具备优越的设备速率稳定性、成膜均匀性以及膜厚重复性，可实现硅片绒毛结构的全域均匀覆盖，并将膜厚重复性误差控制在纳米级，从而确保了钙钛矿吸光层材料能够精准、均匀地共蒸在基板表面，形成具有特定功能的高质量薄膜，为电池的高效光能转换提供了坚实的物质基础，有效提升电池的光电转换效率与稳定性。

此外，该设备还配套了硅片自动化物流线，能够轻松应对快节拍生产需求，实现生产流程的全自动化，显著提高了生产效率。同时，设备融入了成熟的工艺、设计和控制技术，长时间连续运行稳定可靠。

在人性化设计方面，设备配备了人性化的UI界面，操作简单方便，有效降低操作人员的使用难度与培训成本，使设备的运行维护更加高效便捷。

据公司相关负责人透露，欣奕华智正致力于真空镀膜技术的不断升级，积极助力光伏产业降低平准化度电成本（LCOE）。目前，公司已与多家业内知名企业达成战略合作，携手迈向更加广阔的市场前景。

责编：孙书文校对：张涛

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